單晶硅生產過程中產生的粉塵通常為微米級的顆粒，且粉塵吸濕性較低，不易結塊，但若含油霧，可能形成粘附。硅粉塵在特定條件下，可能形成爆炸混合物，具有易燃易爆性。
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